在半導(dǎo)體制造這個高端且精密的領(lǐng)域中，工藝氣體的純凈度直接關(guān)乎芯片的質(zhì)量與性能。而 BF 系列大宗氣體專用過濾器，作為半導(dǎo)體氣體大流量異形過濾器中的佼佼者，發(fā)揮著極為關(guān)鍵的作用。
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半導(dǎo)體芯片的制造過程極其復(fù)雜，像光刻、蝕刻、薄膜沉積等關(guān)鍵工序，對工藝氣體的純度要求近乎苛刻。哪怕是極其微小的雜質(zhì)，都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)缺陷，降低成品率。BF 系列過濾器專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾而生，其采用全 316L 不銹鋼精密打造。這種材質(zhì)不僅具有出色的耐腐蝕性，能適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中各種化學(xué)物質(zhì)的侵蝕，而且堅固耐用，為過濾器的長期穩(wěn)定運行提供了堅實保障。
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它的多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計堪稱精妙。在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，往往需要大流量的工藝氣體供應(yīng)，以滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。該設(shè)計就確保了在高流通量的情況下，依然能夠保持低阻損。這就好比在寬闊的高速公路上，車輛(氣體)能夠快速順暢地通行，而不會因為道路(過濾器)的阻礙而減速或者擁堵，極大地提高了生產(chǎn)效率。
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其過濾精度高達 0.003um，這是一個非常了不起的數(shù)字。那些細微到難以想象的雜質(zhì)顆粒，在經(jīng)過 BF 系列過濾器時，都能被精準(zhǔn)地攔截下來，從而完美地滿足了超高純工藝對氣體純凈度的嚴(yán)苛要求。無論是顆粒雜質(zhì)、水分，還是其他可能存在的有害成分，都無法逃過它的 “法眼”。
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在半導(dǎo)體制造過程中，常常會面臨高溫動態(tài)的環(huán)境挑戰(zhàn)。例如在一些高溫化學(xué)氣相沉積工藝中，溫度較高且氣體流動狀態(tài)復(fù)雜。BF 系列過濾器的整體金屬構(gòu)造就顯示出了獨特的優(yōu)勢，它能夠在這樣惡劣的環(huán)境下穩(wěn)定工作，成為高溫動態(tài)環(huán)境下理想的過濾解決方案。它就像一位忠誠且強大的衛(wèi)士，時刻守護著半導(dǎo)體制造工藝氣體的純凈，為生產(chǎn)出高質(zhì)量、高性能的半導(dǎo)體芯片默默貢獻著力量，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展進步不可或缺的重要支撐設(shè)備。
發(fā)布時間 24-11-23